活性炭过滤器：干净的水设备要求进水中的余氯含量低于0.1mg/l，因此使用活性炭过滤器去除原水中的余氯，防止反渗透膜受到污染。同时可以进一步吸附原水的有机物。

电子用工业超纯水设备快速制水化水的纯水箱，在所述的纯水箱顶部的进水管、纯水箱的底部的设置有与纯水栗连通的出水管，在所述的纯水箱的顶板内侧设置有喷淋机构，在纯水箱的顶部设置有除菌疏水性呼吸过滤器，在所述的呼吸过滤器的出气口设置有切断阀，所述的进水管上与所述的纯水箱相临近侧设置有进水截止阀，在所述的进水截止阀的部旁接有进水排放支路，在所述的进水排放支路上设置有进水排尽阀。