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20266-18
电子半导体工业纯水设备工艺流程介绍

电子半导体制造对工艺用水的要求极为严苛——水中微量的离子、有机物或颗粒都可能影响芯片良率与器件性能。目前行业普遍要求产水电阻率达到18.2MΩ·cm(接近理论纯...

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