芯片切割水回用设备 权坤恒温水循环系统

芯片切割废水主要来源于晶圆切割过程中的研磨与清洗环节。这些废水中含有悬浮物、有机溶剂、重金属离子（如铜、镍、铬等）、氟化物、酸碱物质等。废水的成分复杂，浓度高，毒性大，且浓度波动性强‌。

芯片切割水回用设备 权坤恒温水循环系统

一、处理工艺流程

芯片切割废水的处理工艺通常包括以下几个步骤：

1. 1‌. 收集与初步过滤‌：废水首先通过废水收集系统集中收集，然后使用水泵输送至多介质过滤器进行初步固液分离和悬浮物去除，防止后续处理设备堵塞‌。

2. ‌2. 调节pH值‌：通过加药、混合等方法调节废水的pH值，使其达到后续处理的范围，有助于提高处理效率‌。

3. 3‌. 化学沉淀‌：向废水中投加化学药剂（如CaCl2、PAC等），使某些离子（如氟离子、磷酸根离子等）形成难溶于水的沉淀物，通过沉淀或过滤的方式将其去除‌

4. 4‌. 生物处理‌：在经过预处理和化学处理后，剩余的有机物可以通过活性污泥法或生物膜法进一步降解。活性污泥法是通过废水与含有大量微生物的活性污泥混合，在曝气条件下进行反应；生物膜法则是在填料上形成一层生物膜，废水通过填料时与生物膜接触，微生物在膜上降解有机物‌。

5. 5‌. 深度处理‌：包括膜技术（如超滤、纳滤、反渗透）和高级氧化技术（如臭氧氧化、光催化氧化等），用以去除微细颗粒、溶解态无机盐和难降解有机物，实现废水的深度净化‌。

6. 

二、具体设备和技术

• ‌多介质过滤器‌：用于初步固液分离和悬浮物去除。

• ‌调节池‌：进行水量和水质的均质化处理。

• ‌中和反应塔‌：进行酸碱中和反应。

• ‌沉淀池‌：进行化学沉淀。

• ‌生物反应池‌：进行生物处理。

• ‌深度处理装置‌：包括膜技术和高级氧化技术设备。